二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9296845 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款先进的蚀刻/asher设备，利用能量的热传递来制造多种材料。它主要用于处理半导体晶片和集成电路，以及用于掩蔽、平面化和表面修改。该系统配备了3轴高速直线轴单元、动态电容过程压力控制和可调过程腔。3轴机器能够执行高达300毫米/秒的可重复过程,从而可以精确创建高密度模式。动态电容过程压力用于控制材料的去除速率,确保材料表面的蚀刻速率均匀。此外,加工室的最高温度为45°C,允许在低温下加工材料,从而最大程度地减少对工件的损坏。Rainbow 4520直观的用户界面也使得访问高级流程参数变得轻松。它提供了一个过程控制包，包括配方开发，晶圆跟踪和过程监控。此外，还提供实时反馈，以确保每个晶片得到准确处理。使用LAM RESEARCH Rainbow 4520工具，用户有能力对多种材料的表面进行改造，包括硅、砷化​​氙和的。这种多层工具可用于蚀刻、灰化、CVD和精确抵抗剥离。它还提供了对压力和温度的精确控制，允许精确调整蚀刻和灰化过程。彩虹4520还配有一系列配件，如负载锁、温度控制模块和惰性气体进料资产。这些附件允许用户精确控制蚀刻和灰化过程，有助于确保结果准确。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款功能强大的蚀刻器/asher模型,可提供对过程的精确控制。它专为制造高密度集成电路而设计，允许创建复杂的模式。此外，其直观的用户界面和各种配件使其成为一系列应用的理想设备。