二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300069 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高精度的蚀刻器/asher，设计用于安全、准确地将金属层沉积到各种基板上。该蚀刻器具有六气体构型，用户可以准确控制所加工材料的组成和沉积速率。4520利用了一个大容量的垂直安装的工艺室，允许用户一次处理多个批次。Rainbow 4520的高级功能为用户提供了对所沉积金属的厚度、均匀性和形状的完全控制。它具有同类蚀刻器/分贝中达到的最高吞吐量,沉积速率高达1500 nm/min。4520还配备了专利工艺控制工程（PCE），这是一种闭环技术，可以精确监控沉积速率和组成以获得最佳结果，使用户能够轻松地快速准确地在各种工艺之间切换。LAM RESEARCH Rainbow 4520操作简单,自动化程度高,易于设置和运行批处理过程。直观的控制设备允许用户从单独的显示器监控过程，因此他们可以方便地设置参数并运行各种配方。4520具有广泛的功能，包括内置的数据收集软件、自动化配方管理以及多种安全功能，如工艺室真空、气流和氮气压力监测。即使在极端环境下,Rainbow 4520的坚固结构也能确保可靠的操作。该蚀刻器采用重规格、低振动、高稳定性的不锈钢框架。腔室由不锈钢制成，密封以防止污染。自动映射的加载程序允许用户方便地加载和卸载基板,从而能够有效地利用资源。4520配备了高效排气系统，具有主动过滤器，以确保所有气体和颗粒迅速安全地从单元中清除。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高级蚀刻器/asher,提供高性能、易于操作和坚固的结构。六气配置、高沉积率、先进的工艺控制使其成为金属沉积的理想选择，而自动映射装载机和高效排气机在运行过程中保证安全方便。