二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520 #9300070 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520是一款高度先进的蚀刻器/asher,旨在提供高性能和高效的结果。它是一种革命性的蚀刻和灰化系统，旨在快速、准确地蚀刻和粉刷即使是最困难的基材。Rainbow 4520具有200 mm的分批肘部配置，使其能够同步处理96种基板。它配备了强大的21腔系统，能够对性能突出的各类基板进行灰化和带状蚀刻。LAM RESEARCH Rainbow 4520还采用了尖端技术-顺序等离子体辅助蚀刻（SPA），使其在蚀刻和灰化时保持严格的精度。Rainbow 4520的高压和温度控制的工艺室允许它蚀刻和灰烬提高吞吐量和可控性。此外，为干燥而优化的等离子体发生器也有助于其过程的快速执行和改进的可控性。它配有分布式均匀性控制，有助于平衡整个基板上的蚀刻速率。它具有增强的CD均匀性保护功能,以保持均匀的蚀刻速率。此功能确保即使在关键设备技术中也能满足CD均匀性规范。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4520还具有自动救援功能,即使在存在热点或掩蔽缺陷的情况下也能帮助恢复良好的蚀刻速率。Rainbow 4520还有一个集成的边缘偏置系统（Edge Bias System，EBS），以帮助最小化晶圆内的不均匀性。此功能以及ChemRanging功能有助于最大程度地提高晶圆蚀刻产量和吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4520是前沿器件技术工艺的理想选择，是任何半导体蚀刻设施的完美补充。