二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293595654 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一个可靠且先进的蚀刻/asher平台。它配备了单晶片处理能力和多重蚀刻/剥离源配置，使其成为广泛复杂应用的理想解决方桉。它能够生产纳米级蚀刻和灰烬，非常适合半导体产品的开发和生产。4520i利用低压、感应耦合等离子体源和圆柱形石英淋浴头，以及高频等离子体源。这种双源配置在广泛的工艺范围内提供了均匀性和特定的蚀刻选择性。该系统还包括一个石英室，该室允许低使用加工气体，使该系统能够在碳足迹减少的情况下运行。Rainbow 4520i具有超紧凑的占地面积和易于操作的用户界面,使其能够高效集成到任何生产环境中。此外,该系统还提供了一个出色的Level-1 100级洁净室环境,允许更高效的过程,同时最大限度地减少污染和干扰信号。4520i还具有强大的流程控制和监控功能组合,可提供增值的灵活性和功能。这包括包括一个充满凸轮的晶片级、综合射频控制系统、复杂的腔室控制、晶片映射和处理空间和时间非均匀性的过程历史。这种精密的能力提供了蚀刻工艺性能和自动化的完美平衡。4520i还包括一系列先进的故障监测和诊断能力，包括电极链诊断和电解监测。这些功能为过程控制、优化和诊断提供了一个扩展的工具集。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是任何蚀刻或粉刷应用的最佳解决方桉。它具有一组强大的功能、过程控制功能和诊断功能,使其能够高效、精确地用于复杂的应用程序。其低压、感应耦合等离子体配置和先进的功能集使其成为高效、精确、经济高效的蚀刻/灰度处理的理想选择。