二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #293622809 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是为直接写入和3D设备制造等应用而设计的高性能蚀刻器/asher。它提供了许多功能,例如高分辨率步进器、宽晶圆尺寸范围和大量配方集,使其成为许多行业的理想选择。Rainbow 4520i采用先进的步进设计,具有大量的定位点和高效的驱动设备。这样可以在晶圆的整个表面上实现高精度和快速定位。步进器能够产生微米级分辨率的图样，可以将标准几何形状和复杂几何形状精确蚀刻或灰烬到晶圆表面。系统还配备了激光对准单元（LAS），在每个处理步骤前自动对准晶片，以达到最高精度。该机器配有范围广泛的晶圆尺寸，最大直径可达13英寸。它可以处理不同厚度的基板，硅、石英或陶瓷等材料，同时也可以同时处理多个晶片。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4520i以大量的配方集为特色，以快速使过程参数适应应用程序的要求。Rainbow 4520i由LAM RESEARCH flexFAB软件提供支持,该软件提供用户友好的图形界面和对蚀刻/灰烬过程的实时视频监控。该软件旨在方便设置和存储配方,获取有关工艺状态的数据,校准工具以提高精度,以及定制各种材料的工艺参数。软件还提供了许多资产诊断,例如检查模式的质量、过度蚀刻和环境数据记录。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款多功能、高性能的蚀刻/灰烬模型,旨在满足先进设备制造的要求。Rainbow 4520i具有高分辨率步进器和广泛的工艺参数,能够在标准几何形状和复杂几何形状方面产生优异的效果。它还配备了许多创新功能和用户友好的图形界面,以简化过程控制。该设备非常适合各种行业，从半导体到光学器件制造。