二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9166186 待售

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ID: 9166186
晶圆大小: 6"
Isotropic etcher, 6" ESC.
LAM RESEARCH Rainbow 4520i 蚀刻器/asher是一种高性能设备,专为在一系列复杂且要求苛刻的工艺中蚀刻和粉刷基板而设计。该系统具有超短蚀刻和灰度时间、精密计量和最高质量的性能,不会影响安全性。它为基板加热、冷却、供电等工艺提供了一系列全面的选项,使用户可以实现高水平的工艺控制和可重复性。该装置采用多区域设计,能够精确高效地输送蚀刻和灰化气体及动力。这与高度的灵活性和过程控制相结合,意味着用户可以准确调整蚀刻和灰化气体的分布和控制。Rainbow 4520i还配备了高级诊断功能、真空烘烤周期和一系列机器传感器,使用户能够监控关键流程指标并相应调整流程。该工具还支持各种基材尺寸和工艺配方,可以方便地编程和调整以满足特定工艺要求。资产极其可靠,多年来已证明自己是高度可靠的,确保按照最高标准进行流程。该模型还具有广泛的安全特性,使其安全用于洁净室或实验室。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4520i 蚀刻器/asher设备提供了一系列全面的功能,满足了工艺性能和可重复性的最高标准。其运行成本低,运行可靠,安全特性无与伦比,已成为广泛应用的基板蚀刻和灰化的热门选择。
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