二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9189899 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款高性能、湿蚀蚀刻设备，用于半导体行业的先进加工。它是一个高效、用户友好、经济高效且用途广泛的蚀刻系统。Rainbow 4520i具有特定功能的自动化加工站,为各种高价值半导体器件提供精确的温度控制。该单元具有全面的流程和配方管理功能,能够快速轻松地设置和召回预定义和定制的配方。这包括从可选参数器开发多步骤配方,以及现场配方编辑/设计。此外，Rainbowi系列具有CCD逐片监控功能，提供实时质量保证。LAM RESEARCH Rainbow 4520i机具有坚固、不锈钢的前装载室，配有双工艺气体阀和集成射频发生器。真空室设计用于蚀刻和沉积过程中的平稳可靠操作，使用原位压力表精确控制压力。舱盖配有预定义的空气冷却和加热系统，可实现快速高效的温度上升和下降速率。射频发生器提供蚀刻过程所需的高频能量；可以根据需要选择功率级别、频率和调谐。Rainbow 4520i还融合了一整套安全功能，具有用于精确蚀刻控制的自动温度控制，带有整体安全和警报的完全互锁的工艺室，以及实时故障拍摄的集成诊断工具。此外,资产还包括现场序列编辑器和监视器,使工程师能够对参数进行实时调整并跟踪开发过程。LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款用于先进半导体器件加工的全集成蚀刻模型。凭借强大、直观的设计以及全面的流程和配方管理功能,Rainbow 4520i可提供高效、可靠和经济高效的结果。