二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9198092 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款先进的蚀刻/asher设备,旨在提供最大的多功能性和最先进的基板加工精度。因此，该系统非常适合科学和工业研究以及生产加工。Rainbow 4520i采用双杯单元、垂直磁控管源以及最先进的工艺监控,以实现精确的蚀刻和灰烬工艺。在这台机器中，蚀刻和灰烬任务在可独立调节、可重复和自动化的腔室中进行。这种先进的技术允许加工各种基板，如绝缘体和导体材料，甚至高长宽比的特性。此外,还可以根据客户的要求定制蚀刻器/asher的过程窗口。将基板引入预清洗室，在该室中应用材料去除、基于模型的轮廓和边缘珠去除，然后进行后清洗。端点检测（EPD）技术通过对蚀刻和灰烬过程提供实时反馈,改进了传统端点检测方法。除了先进的蚀刻和灰烬功能外，LAM RESEARCH Rainbow 4520i还具有可靠、坚固和易于操作的特点。温度和压力通过触摸屏界面控制，允许在过程中监测压力、流量、温度和气体溷合比。不言自明的菜单简化了流程操作，使其更加直观。该工具包含了高速个人计算机（PC），其性能优于慢速微处理器控制系统。多语言用户界面有多种语言版本,使全球各地的最终用户更容易利用其功能。污染控制资产提高了过程的一致性和产量。总之，Rainbow 4520i是一个先进的蚀刻/asher模型，为科学和工业研究以及生产加工提供了完整的解决方桉。其用户友好的界面，过程控制和坚固的构造提供了可靠的，可重复和可重复的结果在各种基板。