二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520i #9205536 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4520i是一款先进的蚀刻/灰分工艺工具,非常适合各种晶圆蚀刻/灰分应用。彩虹4520i设备是专为优化工艺参数和性能而设计的。4520 i的高级设计降低了复杂性,消除了昂贵的升级,同时提供了卓越的过程控制和等离子体生成。LAM RESEARCH Rainbow 4520i先进的蚀刻/灰分技术为用户提供了一种基于等离子体的自动化、高速工艺,用于为半导体应用蚀刻和灰化各种材料。Rainbow 4520i配备了多项功能，在晶圆工艺控制和效率方面发挥了最大作用。其通用过程模块（UPM）允许快速交换多个过程模块，而无需从系统中移除晶圆。这允许在一个单元中进行多次蚀刻/灰分处理。LAM RESEARCH Rainbow 4520i还具有强大的诊断工具和分析软件,使过程监控和优化比以往任何时候都更加容易。4520i有一个大容量的底物载体，非常适合同时处理多种底物。基材载体最多可容纳200毫米晶片（可选300毫米晶片）和四个相应的托盘,这些托盘可相对于加工室移动晶片。基板载体还包括单独的晶片加热器，实现每个晶片的独立加热，有助于提高工艺的均匀性。Rainbow 4520i是一台先进的高通量机器，能够快速蚀刻和粉刷用于微电子应用的材料。该工具使用先进的等离子体工艺来生成等离子体流，该等离子体流针对各种不同的应用对材料的蚀刻和灰化进行了优化。该资产的设计采用无载体工艺的通路，并使用喷嘴阵列确保均匀的蚀刻和灰化工艺。LAM RESEARCH Rainbow 4520i还提供PowerPAC软件套件,该套件旨在提高流程产量、管理时间和提高流程一致性。PowerPAC软件套件将所有控制、优化、归档和基本建模功能编译为一个易于使用的软件包。使用PowerPAC,操作员可以轻松监控、优化和简化多个蚀刻/灰烬过程。最后,Rainbow 4520i是一种先进的蚀刻/灰分工艺工具,非常适合广泛的晶圆蚀刻和灰分应用。该模型的高级设计降低了复杂性,消除了昂贵的升级,同时提供了卓越的过程控制和等离子体生成。该设备配备了多种功能，为用户提供基于等离子体的自动化高通量工艺，允许在一个系统中进行多次蚀刻/灰分工艺。