二手 LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE #9097262 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9097262
晶圆大小: 8"
Poly etcher, 8"
Wafer type: flat
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
Auto Pressure Controller (APC): VAT 84020-R1
Baratron 1: MKS 623 10torr
Baratron 2: MKS 622 2torr
Convectron G/Phillips 275
TMP: Vacuum TC 440-C
TMP controller: Vacuum TC 440-C
Robot: -
Robot controller: -
Generator: ENI GHW 26
Match: ENI MWM-25-02
AC rack: yes
RF controller: yes
Chiller: M and W RPC2/28W-
Process: Edwards E2M40 PFPE
Load lock: Edwards EH-250
Booster: Edwards E2M40
MFC:
Gas 1 O2 500sccm
Gas 2 N2 50sccm
Gas 3 CHF3 50sccm
Gas 4 Ar 1sccm
Gas 5 CF4 100sccm
Gas 6 He 50sccm.
LAM RESEARCH Rainbow 4520XLE etcher/asher是一种精密的等离子体蚀刻和灰化设备,旨在在苛刻的环境条件下提供卓越和一致的结果。这个先进的系统具有可靠的真空平台和符合人体工程学的设计,使用户能够实现晶圆的准确和高效的处理。该4520XLE提供多种高级功能,如双模射频发生器、扩展频率范围(450 kHz至2 GHz)和两室锁载机构。该单元还具有高度的灵活性,可适应各种应用,如深度蚀刻和轮廓控制。双腔室锁载机构确保晶片快速、精确地放置到加工腔内。机器配备了先进的等离子体源,在加工区域上提供统一的蚀刻轮廓。该4520XLE配备了几个用户友好的功能和强大的过程控制功能。其直观的用户界面提供了对所有处理参数的轻松访问,而大型彩色触摸屏显示确保了对复杂流程的轻松导航和控制。该工具还提供了高级远程诊断和软件定制功能,使用户可以随时轻松监控和配置处理参数。该4520XLE旨在在高温、高湿度和高压等具有挑战性的环境条件下提供卓越的可靠性和坚固的性能。它的机械设计包括一个隔离资产,以减少振动,以确保精确和一致的结果在各种操作条件。此外,该模型的设计符合各种安全协议,并符合所有相关行业标准。最后,LAM RESEARCH RAINBOW 4520 XLE是一种先进的蚀刻器/asher设备,旨在满足各种应用的需求。其创新可靠的特点,加上优越的工艺控制和效率,为用户提供了一个强大的工具,在充满挑战的环境条件下取得一致和准确的结果。
还没有评论