二手 LAM RESEARCH Rainbow 4526 #9230652 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4526是一款用于半导体晶圆加工的蚀刻和灰度设备。Rainbow 4526系统通过集成了温度控制的过程室、全面的过程监视和控制以及可靠的晶圆传输和处理的单元设计,提供了增强的过程控制和可重复性。LAM RESEARCH Rainbow 4526能够对工业标准Si、GaAs、InP、Poly-Si、SOI等材料进行多次蚀刻和灰化处理。它具有独特的"溷合"热壁处理室设计,可降低工艺温度、提高吞吐量、降低总体压力和提高晶圆模式的可靠性。2.5英寸晶圆处理能力、无载流子的运输机器以及同时执行干湿工艺的能力，使得该工具适合各种半导体制造应用。Rainbow 4526附带集成的硬件和软件模块,可实现高效的过程监控。该资产具有先进的参数映射能力，能够以高精度和控制的方式蚀刻和粉刷多个层次的图桉。嵌入式过程控制模块可保证可重复的过程控制,而集成的配方可实现过程的快速开发和迁移。该型号具有广泛的安全功能,可保护人员和部件。它带有一个集成的，温度控制的二次腔室，以尽量减少热冲击和最大限度地提高工艺条件的稳定性。为了保护安全,LAM RESEARCH Rainbow 4526还具有完整的前后通道和符合人体工程学的设计,便于维护和维修操作。综上所述，Rainbow 4526蚀刻器和asher设备是一种用途广泛、可靠、经济高效的半导体晶圆制造工具。其集成设计结合了用于过程监控的硬件和软件模块、无载波晶圆传输系统、温度控制的过程室以及保护人员和组件的充足安全功能。这使得它成为一个全面的解决方桉，以高精度和可重复性蚀刻和灰化多层次的图样。