二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9011008 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款为大批量生产半导体元件而设计的蚀刻器/asher。它是一种全自动的单晶片蚀刻/灰化设备，其平台能够处理300毫米晶片，同时具有低压化学气相沉积（CVD）和高性能等离子体增强型CVD（PECVD）工艺。Rainbow 4528有一个模块化的架构，可以让使用者根据他们的特定需求自订系统，并包括一个静电卡盘，可以用来将晶片精确地向下定位在腔室上。蚀刻/asher具有两个独立的等离子体源和一个动态压力控制单元，允许用户精确调整反应堆腔室压力和蚀刻速率。它还具有用于后蚀刻、预装加工的抛光机、用于提高性能的真空热交换器，以及专有的批控、高精度输送机工具，每个工艺最多可输送五个晶片，减少循环时间并增加吞吐量。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4528提供气流、压力、温度、放电等关键过程参数的实时监控。其精密的晶圆映射能力为用户提供了配方有效性的详细反馈，同时还对透镜晶圆进行了检测。Rainbow 4528是一种针对各种半导体产品的高效蚀刻器/灰化器解决方桉。