二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9170251 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款全自动湿蚀刻或粉刷设备。该系统采用高度可靠、高速、多阶段、多蚀刻工艺,快速、准确地对蚀刻基板进行图样绘制。彩虹4528设计用于快速蚀刻直径达28英寸(71厘米)的基板。它具有广泛的工艺参数,能够使用正面和背面湿法进行蚀刻。集成工艺室的设计是为了提供均匀的蚀刻和一致的高产率。它利用可调节的敏感器和液体输送装置,以确保整个基材上的工艺参数和一系列工艺配方的均匀性。可调敏感器还通过允许使用更高水平的湿蚀刻剂和改进温度控制来帮助缩短加工时间。LAM RESEARCH Rainbow 4528配备了多项有用的功能,包括有色视口和热墙设计,两者都有助于提高工艺能见度。有色视口可以让使用者清楚的检查过程结果,而热壁设计则有助于加快蚀刻剂的流动,降低电解效应的机率。Rainbow 4528还具有可移动冷却盘和自动降泵机,为用户提供安全高效的冷却过程。自动降泵工具有助于快速从加工室中疏散剩余的蚀刻物,以减少蚀刻物污染和前猎豹。还提供了多种可选显示器(包括8个机架负载端口),以帮助确保最大资产性能和可靠性。LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款非常可靠的机型,提供过程控制和高质量、高速的结果。它提供正面和背面湿蚀溶液,非常适合各种基材,使其成为许多工业和科学应用的绝佳选择。这种蚀刻设备具有可调敏感器和先进的监控功能,非常适合那些需要快速和高度精确蚀刻的人。
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