二手 LAM RESEARCH Rainbow 4528 #9244836 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9244836
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Etcher, 8"
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Flat orientation type
BCR
Transfer robot: Homonic driver
One process module chamber
Plasma source options: 27/2 MHz Maximum
2500 W Generator
Chuck type option: Bipolar ESC
Wafer pin-up option: Air cylinder
Gas:
(6) Gas lines
MFC Type: Analog
MFC Maker: Unit 8160
Vacuum pump: QDP80
Turbo pump: TS443BW
Signal tower
UPS: 120 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 175A
Power: 208 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 115A
1994 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4528是一款为先进半导体生产而设计的蚀刻器/asher。它是一种具有精确温度、真空和化学控制能力的自动化设备。该系统具有多级可配置的流程模块,允许多种流程配方由板载操作单元设置和召回。该腔室由不锈钢制成，设有玻璃窗，用于监控机器健康和防止污染。Rainbow 4528具有四区域处理模块,允许在不同区域执行不同的蚀刻和烧蚀过程。该工艺模块使用三个外部臂作为额外的工艺气体，并使用一个旋转轮在配方和加工室之间快速切换。该工具还配备了获得专利的离合器和车轮锁定机构，允许平稳准确的旋转，即使在大腔室之间也是如此。可以使用内置软件自主调整工艺参数，并存储各种工艺配方。资产还包括一个内置的监控模型，允许用户监控设备的健康状况、工艺状态和腔室温度。LAM RESEARCH Rainbow 4528的坚固结构确保了可靠的性能,即使在恶劣的生产条件下也是如此。该系统非常适合工业吞吐量和扩展产品线。有了活跃的亚微米腔室，Rainbow 4528也能够处理低至0.5微米的特性。内置安全单元和报警确保操作员安全和产品质量。LAM RESEARCH Rainbow 4528专为高级生产环境而设计,能够创建针对特定产品量身定制的复杂工艺配方。该机与其他LAM RESEARCH产品广泛兼容；使其成为半导体生产的最佳选择。直观的GUI允许轻松设置,并且该工具具有各种自动化功能,可用于简单、可重复的流程。
还没有评论