二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600 #9313103 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4600是一款高端、高通量的蚀刻器/asher,其模块化平台由一个平板和四个腔室组成,可在单一配方模式或多重配方模式下实现动态配置。这种灵活性允许对各种材料进行加工，包括但不限于厚薄膜、金属、玻璃、电介质和低k材料。彩虹4600的两个主要过程，蚀刻和更新，是使用各种等离子体源完成的，例如射频和直流偏置等离子体，以及来自蚀刻室、灰烬器和气相沉积室等系统。适用于LAM RESEARCH Rainbow 4600的蚀刻操作室模型包括单室、双室、四室配置。其模块化平台还提供手动或自动的可编程性、过程控制和数据记录功能。Rainbow 4600能够在各种材料和晶圆尺寸上进行精密蚀刻,具有高均匀性和高选择性,可重复性为0.5%。这使得曲面的平面化和特定特征的选择性蚀刻具有最佳的可重复性。LAM RESEARCH Rainbow 4600带有电容耦合等离子体（CCP）源,可支持自动平整、主动匹配和其他一些高级功能,使其适合纳米技术过程和其他需要精确蚀刻的过程,并在高通量下获得最佳效果。Rainbow 4600还具有坚固且易于使用的用户界面,可帮助减少由于过程控制不准确而对蚀刻表面产生的"脚跟效应"。该压板具有旋转真空盖、无菌装卸、沉积后退火等特性。此外，系统还提供了集成配方开发界面，用户可以利用该界面轻松编程各种蚀刻配方。LAM RESEARCH Rainbow 4600也是为最佳工艺环境而设计的。它带有惰性吹扫和闭环冷却系统,可确保卓越的冷却性能,提高工艺结果的可重复性,并提高成本效益和效率。此外，它坚固的热管理系统为最高温度控制、重复性和准确性提供了精确的热量和冷却。所有这些功能结合在一起,使Rainbow 4600成为一个理想且可靠的蚀刻器/asher解决方桉。