二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9145833 待售
网址复制成功！
单击可缩放
LAM RESEARCH Rainbow 4600B是半导体工业中为晶圆制造而设计的蚀刻器/asher。它提供了降低的拥有成本、先进的吞吐量和图像质量,以及可靠的过程开发和控制过程。彩虹4600B采用创新的双室设计，提供高精度和重复性的卓越工艺控制。LAM RESEARCH Rainbow 4600B配备了两个最先进的交替电化学处理电池，每个电池最多由四个独立的电极和驱动器组成。该4600B旨在方便地访问压力、温度、流量和浓度等不同的处理参数。其用户友好操作通过直观的流程监控软件启用。此软件还有助于最大限度地减少工艺变化、预热和冷却序列以及晶圆冲洗/重新加载时间,从而提高效率。它还提供了可定制警报、警报和配方的功能,以提高生产率。Rainbow 4600B提供了1.0% ±内的出色均匀性,并在整个晶片表面具有出色的蚀刻均匀性。此外,4600B还支持湿蚀刻或干蚀刻,这对于某些材料可能是必需的。该4600B还能够调节通过蚀刻的晶片厚度，从而能够严格控制蚀刻后的薄膜和结构。LAM RESEARCH Rainbow 4600B设计具有延长的使用寿命和可靠性。专有的RF-On-Metal™电极系统用于维持低颗粒背景，减少污染。该4600B采用专门的模块化结构设计,可方便地访问流程单元,并避免在维护过程中需要服务呼叫。最后,4600B的占地面积很小,总占地面积不到2平方米,是有限工作区的理想选择。
还没有评论