二手 LAM RESEARCH Rainbow 4600B #9313104 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4600B是一种用于多晶硅、二氧化硅、氮化硅等各种薄膜材料蚀刻的高性能蚀刻和灰化设备。它利用强大的紫外线激光源,射程高达250瓦,即使是最困难的材料也能提供极高的拆除率。该系统除了具有高达350 mm x 350 mm的大板载腔室容量外，还设计了几个方便的功能，如集成、高精度的基板材料精确定位阶段，以及用于控制蚀刻和灰化过程的先进、用户友好的软件包。彩虹4600B即使对于复杂的蚀刻膜，如多晶硅，也能达到优异的去除率，同时保持高精度和均匀的去除特性。此功能强大的蚀刻单元可用于单层和多层工艺应用。它的模块化体系结构允许轻松扩展,以适应更高的卷,同时保持吞吐量。LAM RESEARCH Rainbow 4600B设计用于各种研发和生产环境。它坚固可靠的设计使它能够长时间运行,而且停机和维护时间最短。其板载腔室易于取用，包括一个手动进纸托盘，用于快速、精确地装载和对准基板材料。此外，其智能气体输送机确保了均匀的蚀刻和灰化效果。简而言之,Rainbow 4600B是一种高性能、精确且功能丰富的蚀刻和灰化工具,非常适合研发和生产,在多种材料中提供统一的高质量结果。其集成的板载资产和软件使其既方便用户又高效,其可扩展性确保其性能能力保持不变,即使面临更高的容量。