二手 LAM RESEARCH Rainbow 4700 #9364649 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4700是一种先进的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）蚀刻器/灰化器设备,旨在应对各种底物上的蚀刻层沉积和各向异性蚀刻的挑战。彩虹4700以其超高性能和低运营成本相结合，是半导体和微电子行业高精度应用的完美系统。LAM RESEARCH Rainbow 4700允许在包括硅、III-V化合物以及碳、金刚石等III-N化合物在内的各种基板上，对薄层和高纵横比结构进行精确、选择性和不均匀的蚀刻。通过使用先进的PECVD技术,Rainbow 4700能够控制蚀刻速率和方向性,从而实现精确的特征模式。此外，LAM RESEARCH Rainbow 4700具有高的长宽比和保形性，也适用于薄膜涂层的沉积。Rainbow 4700允许沉积具有出色保形性和均匀性的薄膜。此外，该单元提供低寄生电容，因此可以用于高性能互连。机器还能够快速、精确地设计接触开口。LAM RESEARCH Rainbow 4700还具有先进的热管理功能。这样可以使基板加热,从而提高工艺的均匀性和可重复性。此外，Rainbow 4700的闭环温度控制方法提供了非常严密的温度控制，防止了对基板的不必要破坏。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4700是一款先进的蚀刻器/asher工具,能够提供高蚀刻速率和一致性以及低运营成本。Rainbow 4700具有先进的温度控制功能,非常适合高精度涂层和图案设计应用。其最先进的PECVD技术使其成为各种基材上精密、选择性、不均匀蚀刻的完美资产。