二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293642252 待售
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LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款蚀刻器/asher,它提供了从较薄的薄膜到纳米级设备的快速、可重复和经济高效的基板处理。Rainbow 4720提供电介质膜、氧化物、金属、钨等材料的精密敏感蚀刻和灰化。先进的半导体工艺模块LAM RESEARCH Rainbow 4720提供多达16个全自动的工艺室,使每个阶段都能独立控制和同时运行。这种模块化系统扩大了处理范围，让用户可以灵活调整温度、气体和循环参数，以满足特定需求。Rainbow 4720提供多达四个标准井和多达十六个可选的浅工艺井,允许多达十六个晶圆载体独立处理,提供更大的吞吐量和利用率。该系统还支持手动以及极其清洁的半导体、纳米技术和光电应用,因为它采用了先进的清洁技术、拉力和洗涤选项。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4720的机舱能够在266°C的温度下运行,并提供各种气体和反应物控制选项,以满足用户的要求。这款蚀刻器/asher具有管理多种具有广泛水性、有机和高密度等离子体的光刻和蚀刻配方的能力，以及用于超清洁半导体器件和纳米级薄膜的高反应性化学。Rainbow 4720还具有先进的腔室设计,具有完全独立的加热腔室结构,并可选择1至8个排气管,以提高蚀刻和灰度均匀性。除此之外,LAM RESEARCH Rainbow 4720的设计采用闭环、完全耗尽的设计和自动控制系统,可实现最低限度的维护、高可重复性和长期可靠性。综上所述,Rainbow 4720是一款功能强大、用途广泛的蚀刻和灰化工具,非常适合低容量、半导体、纳米技术和光电应用。它以高效、清洁和经济高效的方式对从薄膜到纳米级器件的基板进行精确和可重复的处理。
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