二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293758944 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4720是一种蚀刻器/灰化器设备,专为工业环境中的蚀刻、灰化和清洁应用而设计。该系统利用先进技术和经过验证的测试协议提供可靠和一致的结果。Rainbow 4720的主要部件包括高功率射频源、超高真空室和标准工具包。高功率射频源能够产生从100 kHz到1 GHz的各种频率。射频源能够调制频率和功率，使用户能够控制各种基板的蚀刻过程。腔室由不锈钢构成，形成八角形。它配备了可调节的载荷锁定台和定制设计的腔窗。腔室设计为保持低基压（小于1 mTORR），有助于确保高效蚀刻。工具包包括一个样本操作臂、一个可编程加热/冷却板、一个样本旋转单元和一个远程泵降控制箱。样品操纵臂用于准确地将基板进出腔室，而加热/冷却板则用于确保温度均匀性。样品旋转机的设计是为了确保底物最适当地暴露于射频源。LAM RESEARCH Rainbow 4720还利用自适应控制，允许用户调整蚀刻工艺参数，一致产生高蚀刻选择性、特征定义和工艺均匀性。它还配备了一系列的等离子诊断，允许用户实时监控蚀刻过程。总体而言,Rainbow 4720是在工业环境中进行蚀刻、灰化和清洁应用的理想工具。它为用户提供了广泛的蚀刻功能和高度可靠和一致的蚀刻过程。此外，它能够蚀刻各种基材，以及监测和控制蚀刻过程。