二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #293817739 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款为大批量生产而设计的蚀刻器/asher。这种设备设计用于各种不同的工艺化学，能够达到30.2毫米/分钟的最大蚀刻速率。泵的最大转速为20000 rpm。Raindow 4720配备了单级高真空涡轮泵送系统，使机组在总压力<5 mTorr的情况下运行，泵速高达8500 rpm。Rainbow 4720利用先进的蚀刻控制器,可精确控制蚀刻参数,如气体需求、蚀刻压力、腔室温度和功率级别。控制器还允许操作员启用具有精确可重复性的可重复蚀刻运行。控制器还能够监控工艺室温度变化等工艺参数。LAM RESEARCH Rainbow 4720晶圆加工站包括一个真空装载室，能够容纳多达四个盒式，最多20个晶圆。然后将晶片转移到蚀刻室，该蚀刻室可容纳多达216个晶片。Rainbow 4720机器具有全方位的晶片保护功能,有助于确保一致的蚀刻质量。这些功能包括可调节的气流、功率水平和温度设置。此外，该工具还包括一个原位清洁室，可用于清除进程运行之间的残留污染物。LAM RESEARCH Rainbow 4720是一种用途广泛的资产,能够执行各种具有精确可重复性和控制性的蚀刻过程。它具有先进的蚀刻控制器和较高的吞吐量能力，是大批量生产应用的绝佳选择。该模型可靠、经济高效，能够生产出精密工艺控制的高质量蚀刻。