二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9384076 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款针对高级工艺需求而设计的蚀刻器/asher。它具有超低的kV加速电压，使其能够实现高长宽比的蚀刻，并提供更均匀的材料层。这是通过高通量、短脉冲处理和像差校正来实现的。Rainbow 4720 an 蚀刻器/asher使用先进的蚀刻/灰化技术,在深而窄的沟槽中实现垂直壁和宽的停止蚀刻壁。它提供了快速的流程周期和更高的底部蚀刻速率,同时减少了提升件的数量。可装载LAM RESEARCH Rainbow 4720 HEI（高效油墨）。HEI设计用于蚀刻制造工艺,具有均匀、光滑的非晶硅和氢化硅层导电表面。Rainbow 4720有一个多模源腔，提供了蚀刻能力和同时的能力。这有助于节省成本和时间,因为机器可以同时执行两个过程。Raspberry Pi控制器可确保在整个腔室中进行快速、准确的处理,并且源模块完全集成到控制器中,从而获得最大的灵活性。LAM RESEARCH Rainbow 4720还附有LAM RESEARCH标准堵塞物，旨在提供均匀的物料层，持续的高蚀刻速率。Rainbow 4720有多种选项可自订蚀刻/ashing过程。它可以配备Dual Process复古模式、DC偏置模块、Green Ribbon Connector和Pattern Memory Mode。这些选项可确保蚀刻/灰化过程是根据客户的需要定制的。LAM RESEARCH Rainbow 4720具有卓越的长期服务和性能能力,专为可重复、高性能的蚀刻和灰化过程而设计。它拥有全面的维护包，并配备独特的监控和诊断功能，以确保最大限度的过程控制和效率。这些功能使Rainbow 4720成为在研究和生产应用中具有工业级性能的蚀刻/灰化的理想选择。