二手 LAM RESEARCH Rainbow 4720 #9402505 待售

ID: 9402505
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4720是一款高能力、高通量的蚀刻器/asher设备,用于先进的半导体行业。Asher系统利用几种不同的技术,产生高蚀刻、图样化和多层结构,用于微电子、光学和光子学等电子设备。具体来说,Rainbow 4720可以利用化学湿蚀刻工艺、干蚀刻工艺和物理沉积工艺来产生这些结果。化学湿蚀刻工艺LAM RESEARCH Rainbow 4720 蚀刻器/asher支撑物包括湿等离子体蚀刻(WPE)、热磷酸蚀刻(HPAE)、浸没氧化剂(IO)、电解氧化。这些工艺用于蚀刻有机和无机材料以及金属和合金,以产生比机械工艺更小的几何形状和改进的表面质量的图样或孔。Rainbow 4720单元可以利用的干蚀刻工艺有溅射蚀刻(SE)、毛细管蚀刻(CE)和低温蚀刻(CE)。这是一个经过验证的过程,用于产生高度蚀刻和类似金刚石的碳表面和结构,以达到高精度、可重复性和微调能力。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4720还能够利用物理沉积过程,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)和离子束沉积(IBD)。这些过程涉及膜的沉积,如电介质、导电膜和半导电膜,保护和密封正在蚀刻的底物的方法等等。使Rainbow 4720 蚀刻器/asher与众不同的一个方面是,它能够利用上述许多蚀刻和沉积技术,在非常紧密的几何形状中实现和复制高度复杂的多层结构,并具有极其精确的图桉。这是通过机器的多步骤功能和高级图像处理工具来实现的,这些工具允许优化的可调处理能力,以根据特定的作业请求定制蚀刻和沉积参数。最后,LAM RESEARCH Rainbow 4720是一种高度先进的蚀刻器/asher工具,能够快速高效地蚀刻和沉积各种材料,从而产生具有无与伦比的几何形状的高度复杂的多层结构。其先进的图像处理能力和多步处理能力使其成为新兴半导体行业的理想选择。
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