二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9145828 待售

ID: 9145828
Plasma etcher.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是公司"Corporate Series"下包含的一系列蚀刻/asher工具。这些工具通过一系列过程控制、等离子体源和真空解决方桉,为不同的工业蚀刻和灰化应用(如薄膜沉积和器件结构化)提供经济高效且可靠的解决方桉。Rainbow 4000系列蚀刻器/灰烬具有公司专有的蚀刻技术,提供全方位的蚀刻功能-从低温工艺到氮化物、氧化物、氧化物、多晶硅和其他材料的高速度蚀刻。这种强大的蚀刻技术可确保精确、均匀和可重复的蚀刻,而不受工艺时间或样品加载的影响,从而确保高效和高效的工艺。Rainbow 4XXX系列还提供了许多其他高级蚀刻解决方桉,例如高电流、高能量等离子源解决方桉(PSS),它提供卓越的离子控制和能量调制功能,以实现最高的可靠性和精确度。这个功能强大的蚀刻工具还包括MESR指示器,它提供实时反馈和对间隙距离和飞行时间数据的控制。此外,LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列还具有先进的真空控制系统,允许用户精确控制真空室的压力控制和清洁度,以及通风调节工艺气体条件。这种可靠和创新的控制方法和技术的结合确保了精确和准确的蚀刻过程。Rainbow 4XXX系列蚀刻器/asher专门为用户提供可靠、经济高效且可靠的解决方桉,以满足大多数工业蚀刻需求。这种用途广泛的工具提供了准确、可靠和灵活性,以满足各种蚀刻应用程序需求,使其成为满足任何蚀刻或灰化需求的完美解决方桉。
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