二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176780 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series
ID: 9176780
Chillers.
LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一款为满足先进设备工艺技术的严格要求而设计的蚀刻器/asher。该系列搭载了基于LAM行之有效的专利技术的先进射频处理,并因其高耐用性和性能提供了一个高度可靠、经济高效的生产平台。Rainbow 4XXX系列包括一系列与半导体制造中最新蚀刻和灰化设备技术兼容的产品。所有型号均具有具有可变脉冲电流发生器的中央处理器(CPU)、多腔自动化以及一系列清洁和预处理功能。特别值得一提的是4563型,它采用了一种超薄气体电池壁设计,在加工过程中保持低于1.0毫巴的气体压力,同时支持低于1.5 mb的氙气压力变化。此外,由于其先进的射频系统,用户可以期待高精度的先进过程控制,以确保准确的过程优化。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列旨在提供清洁、快速和大量掺杂的工艺,使传统设备的生产效率提高一倍。该系列为用户提供了灵活性,因为它支持高级流程的标准和自定义配方设置。它还支持快速爬升、短流程周期、小清理周期以及可跟踪的流程参数,使其成为单一设置,从而确保改进的可重复性。此外,本系列还采用了可靠的安全功能,可监控过程参数并检测任何异常。此外,Rainbow 4XXX系列还具有可扩展性,允许双腔室操作、高级工艺优化(APO)和气体/反应物溷合物控制,从而使用户能够简化生产线并提高生产率。此外,LAM的客户支持和专门的服务工程师可提供及时的支持和故障排除,以确保最长的正常运行时间和令人满意的结果。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一个功能强大的工具,适用于需要可靠、快速的流程、流程优化功能和高级安全功能的制造商,这些功能都包含在一个紧凑的系统中。该系列使用户能够自定义批处理运行、提供可靠可靠的支持,并提高灵活性以确保满足其处理需求。
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