二手 LAM RESEARCH Rainbow 4XXX series #9176782 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列是一种等离子体蚀刻器/灰烬设备。该系统旨在蚀刻各种材料，包括半导体、金属、绝缘体和其他坚韧材料。彩虹4XXX系列利用多种技术实现了所需的蚀刻型材，包括等离子体蚀刻、离子铣削、反应性离子蚀刻和反应性离子铣削。它提供了对蚀刻参数的高度控制,包括能级、扫描速度、模式重复率和选择性。该单元的主要部件是目标表面、输入电源、射频电源、等离子体源和排气室。目标表面是要蚀刻的表面，通常是半导体或金属表面。输入电源控制电流流向射频电源。射频电源产生产生等离子体所需的射频场。等离子体源是用来蚀刻目标表面的通电粒子的来源。最后，用排气室安全地从蚀刻机中排出颗粒。等离子体蚀刻过程基于使用通电粒子对目标表面的电离轰击。射频电源在目标表面上产生电场。这个电场将粒子加速到高速，粒子撞击目标表面，打破原子和分子之间的键。此过程用于从目标曲面中移除单层或多层材料。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列提供多种蚀刻技术，包括深反应性离子蚀刻、高密度等离子体蚀刻和离子铣削。深层反应离子蚀刻（DRIE）用于在优化选择性的同时蚀刻多层材料。这种技术涉及一系列蚀刻循环，其中离子以增加的能级撞击目标表面。高密度等离子体蚀刻（HDPC）是一种等离子体蚀刻形式，用于蚀刻非常薄的材料层。离子铣削是一种用于创建精确特征的低能蚀刻技术。与其他蚀刻系统相比,Rainbow 4XXX系列具有许多优点,包括蚀刻速率高、蚀刻化学消耗低、操作成本低以及停机时间短。此外,它的小巧尺寸和易用性使其成为半导体工业的理想选择。LAM RESEARCH Rainbow 4XXX系列为用户提供了精确蚀刻各种材料的可靠工具，使其成为各种制造工艺的理想选择。