二手 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9173006 待售
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ID: 9173006
Lot of spare parts:
Qty Part number Description
(2) - MFC H2O Vapor 1 slm with Controller
(2) 853-491530-002 ESC Power supply assembly (810-017086-008 & 810-370182-001)
(2) 853-015763-001A Assy limit switch
(1) - MFC Ar 100 sccm
(1) - MFC O2 200 sccm
(15) 810-017031-004C ADIO Board rev C
(1) 810-017050-002C ADIO8 Board
(1) 853-032190-306E TCP Assy upper match, fixed gap
(1) 853-015130-204C Assy RF Match EXT range
(1) 515-025756-001 Paddle calibration tool
(1) 515-012168-00X Arm calibration disc
(1) 515-012169-001 Wafer centering tool
(1) 795-008885-001 Optical sight
(2) 515-009821-001 Lock pins
(1) 715-010213-003 Edge sensor calibration tool
(3) 515-097217-001 Nonmetalic driver
(3) 515-099329-001 Retaining ring pliers.
LAM RESEARCH Rainbow 9600是一款蚀刻器/asher,为高级蚀刻和加工提供更高的生产率和过程控制。该设备能够以紧凑的外形提供先进的蚀刻工艺。它旨在提供更好的流程通用性、更高的吞吐量和更好的整体流程控制。Rainbow 9600 蚀刻器/asher具有紧凑的单晶片设计,具有出色的工艺灵活性和生产率。它利用业界领先的直接驱动的转塔卡盘和主轴快速晶圆对准和提高吞吐量。该系统具有两室配置，可实现最佳的锁载和蚀刻室配置。该装置还采用专利处理技术，以加强工艺控制。它包括一个可以在最多六个蚀刻参数上蚀刻的电镀工艺。LAM RESEARCH Rainbow 9600还具有动态晶圆计量能力，允许在蚀刻时改进晶圆分析。该机还具有高速加载，以实现更快的处理和更高的吞吐量。Rainbow 9600 etcher/asher还提供了用于蚀刻和工艺控制的高级软件。它包括一个全面的用户界面和强大的数据分析工具。软件还具有一系列交互式控制功能,允许用户自定义其蚀刻和处理参数,以提高工艺可靠性。LAM RESEARCH Rainbow 9600 蚀刻器/asher还提供增强的安全性和数据保护。它配备了提供高级加密和验证协议的集成安全工具。它还配备了本地打印管理资产和安全的外部内存连接器,以便于设置和数据管理。Rainbow 9600 蚀刻器/asher提供了广泛的高级支持选项,包括全面的技术支持。该型号还配备了全面的保修范围和维护包,可让您更省心。最后，LAM RESEARCH Rainbow 9600 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻和加工设备，旨在增强工艺控制和吞吐量。它体积小巧,用途广泛,提供了一系列过程参数和安全功能,可提高可靠性。集成的软件和支持包使其成为高级蚀刻和处理应用程序的绝佳选择。
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