二手 LAM RESEARCH Rainbow 9600 #9389854 待售

LAM RESEARCH Rainbow 9600是一款利用强大的高频射频（Radio Frequency）等离子体源的蚀刻器/asher。彩虹9600具有高达200瓦的等离子体源功率和50立方英尺的工作量，可以处理高达400毫米x 300毫米的基板。其独特的设计允许执行各种各样的过程几何,例如在单个配方中在同一基板上进行蚀刻和清洁,而不会影响过程的可重复性或基板吞吐量。这种先进的蚀刻器/asher具有集成的批处理特性，可自动制备基材和形成等离子体，用于可重复的过程和较高的基材产量。LAM RESEARCH Rainbow 9600有一个可在各种温度和大气条件下储存基板的锁载设备，确保在整个批处理过程中保持工艺条件。此外,系统的绝对压力控制功能最大程度地减少了过程波动,从而显着降低了最终产品产量和质量问题的风险。该单元还具有一个专有的射频发生器，确保稳定和一致的蚀刻和清洗性能。等离子体内的聚焦离子附着在基质表面，而等离子体均匀且具有气体流速等可编程参数高度可调。Rainbow 9600 蚀刻器/asher的构造考虑到安全和环境保护。它有一个单法兰排气机，能够有效地从操作室内输送有毒气体，并减少危险排放。此外，该工具有七种标准气体可供选择，均符合国家森林行动计划认证和环境法规。总体而言，LAM RESEARCH Rainbow 9600 蚀刻器/asher由于其高频射频等离子体源和综合工艺参数调整，提供了卓越的基板性能和吞吐量。其安全环保特点使其成为生产优质基材的理想可靠工具。