二手 LAM RESEARCH Rainbow #9118482 待售

LAM RESEARCH Rainbow是一款为半导体制造中的蚀刻/灰化过程而设计的蚀刻/灰分设备。它能够在各种化学方法中操作，如干蚀刻和湿蚀刻及其组合，并配有一整套专门为蚀刻/灰化非常薄的特征层而设计的工艺配方。其特点包括低温处理以确保低热诱导应力、去除速率均匀性和遮罩形状精度，以及先进的安全特性。该系统可以精确蚀刻/灰层的硅（Si）、碳化硅（SiC）、氙（Ge）等用于制造MEMS、NEMS、VLSI器件的半导体材料。该单元由精密蚀刻/灰化的各种部件组成，包括一个工艺室、高真空泵送系统、冷却剂机、工艺控制工具和一个可选的蒸气相蚀刻等离子体源。加工室是一个密封的外壳，带有基板支架，允许样品暴露在受控环境中。根据工艺要求和腔室大小，它可以包含多种电极，用于将离子喷洒到晶圆上。高真空泵设计用于保持工艺室内的低压环境。冷却剂资产用于降低工艺室在蚀刻/灰化过程中的温度，确保产生的任何热量都能散发出来。流程控制模型允许自动控制蚀刻/ashing流程参数以及所有流程信息的数据日志记录。彩虹蚀刻/灰烬设备可用于去除硅、碳化硅、的层，以及其他由于低温处理能力而具有极低热诱导应力的半导体材料。该系统具有高度精确的蚀刻/灰化功能,允许均匀去除具有高掩模形状精度的层。凭借其全面的食谱套件，操作员可以根据自己的特定应用需求轻松定制流程。此外，反应堆具有高度的安全性，并设有安全联锁装置，以防止发生任何危险作业。该设备适用于实验室和生产环境。