二手 LAM RESEARCH RB 4528 #9115317 待售

LAM RESEARCH RB 4528是一种干式蚀刻器/asher设备，用于以极高的精度蚀刻和清洁各种基板。该系统兼具下游等离子体加工和干蚀刻能力，具有优秀的量产背景。它旨在通过获得专利的气体回流技术提供高长宽比，为低温氧化物提供高选择性。RB 4528由具有先进挡板设计的坚固腔室组件组成，以优化等离子体暴露。它具有低电感设计和自动腔室轮廓测量单元，从而允许一致的可重复蚀刻过程。该机器具有较快的启动时间和较低的源共振,有助于消除电弧并支持较快的倾斜时间,以减少高温剖面造成的扭曲。蚀刻器/asher配备了一个创新的双动单室，简化了传统的蚀刻工艺。腔室设计还具有具有节能IGBT技术的射频电源和高精度端点检测，以确保稳定、可重复的蚀刻过程。蚀刻器/asher工具具有高效的热管理资产,可用于干蚀刻过程,并具有对多个工作站的晶片进行脱胶的能力。内置过程监视器具有快速反应时间，以确保准确的结果，并具有先进的安全模型，允许用户远程监控过程。LAM RESEARCH RB 4528 蚀刻器/asher设备配备了可选的机器人处理能力，减少了加载时间，而是自动进行连续处理，使其适合大容量需求。此外，它具有广泛的气体和消耗品，支持广泛的应用。RB 4528 蚀刻器/asher系统以其顶级的可靠设计、可靠的性能和高精度的功能彻底改变了业界。该装置在蚀刻精度方面确实是无与伦比的，因此已成为小规模和批量生产的行业标准工具。