二手 LAM RESEARCH SEZ 223 #293658185 待售

LAM RESEARCH SEZ 223是一种用途广泛、创新的晶圆蚀刻器或半导体应用中用于蚀刻晶圆和其他基板的"asher"。它采用模块化设计,允许安装其他模块以实现更高的性能或吞吐量。其最新版本包括升级,使基板加工率达到每小时50个晶圆。而且，它的快速周期时间减少了完成每个周期所需的时间。SEZ 223具有双通彩色触摸屏界面（DPCIT）,易于监控。DPCIT包括直观控件、历史记录功能以及在单个操作中设置多个配方的功能。其激光驱动的喷射设备允许晶片更快地被基底到系统上，提供更高的吞吐量和均匀的蚀刻性能。LAM RESEARCH SEZ 223提供卓越的控制和选择性，对整个蚀刻过程进行精确控制。其可调盘片具有两个不同的可调目标和支撑板，具有不同的蚀刻图样和蚀刻速率，以便以不同的蚀刻速率获得多个蚀刻深度。该单元可以编程为执行重新蚀刻操作,在该操作中,晶圆的一部分可以重新蚀刻以产生更精确的蚀刻模式。SEZ 223具有先进的安全功能,并配备了Kapton加热器,可防止晶圆过度蚀刻,并防止烧伤或损坏。其专利清洗机尽量减少磷酸蒸气排放，降低空气传播排放的风险。该工具还具有多个过程报警器和一个结束循环氧气浓度监测仪，以确保安全性和准确性。综上所述，LAM RESEARCH SEZ 223是一项可靠的高速蚀刻资产，旨在确保精确蚀刻、安全和吞吐量。其直观的控件和高级功能使其成为各种晶圆蚀刻应用的理想解决方桉。