二手 LAM RESEARCH SEZ 323 #293658166 待售

LAM RESEARCH SEZ 323是一种高度精确的蚀刻/灰分工艺设备,旨在满足关键光掩模蚀刻和灰分应用的严格要求。该系统配备了四车道、车轮跟踪机器人、气动喷嘴、多轴蚀刻/灰头等先进功能。该单元非常适合在薄膜厚度最小为0.5微米的情况下对细腻的光掩模进行蚀刻/粉刷。机器还配备了多种安全功能，以确保蚀刻/灰烬工艺免受化学或机械事故的影响。内置的安全装置包括气体检测工具、真空过程安全阀和盖子安全开关。此外,资产的控制模型包括内置的锁定/标记输出设备和紧急停止按钮。该系统具有高达每小时30个光掩码的高吞吐量。多轴蚀刻/灰头能够一次处理四个光掩模,提供高效且经济高效的生产解决方桉。先进的机器人有一个四车道的车轮跟踪单元，允许均匀分布蚀刻/灰烬过程。此外，该机还利用气动喷嘴来降低人工接触造成昂贵损坏的风险。该工具易于集成到任何现有的生产工作流程中,并配备了易于操作和诊断的用户友好软件。该软件提供了一系列自定义选项,允许用户根据自己的特定要求调整其设置。此外,资产还包括各种蚀刻/灰烬工艺附件,如过滤器、喷嘴和反射器。SEZ 323是一款高度可靠且先进的蚀刻/灰烬型号,提供卓越的性能和无与伦比的质量。该设备是光掩码蚀刻/灰化应用的理想选择，要求精度和可靠性。该系统具有多种安全功能和先进功能，为高精度应用提供了有效的解决方桉。