二手 LAM RESEARCH STRIP45 #9244860 待售

LAM RESEARCH STRIP45是一种高性能、模块化的蚀刻工具，用于临界蚀刻和清洁过程，包括超浅结的形成、防腐和介电去除。它特别适合于半导体工业中铜通过和大马士革的应用。它具有多种功能,使其成为功能强大但用途广泛的蚀刻设备,包括先进的射频电源系统、超大型石英室、一件式工艺加载、多级拓扑控制以及多个独立的工艺模块。这些功能结合在一起,使用户在产生最优质蚀刻结果时体验更轻松、更高效。STRIP45蚀刻装置配备了多种特性和配件，以获得最佳性能。它使用专有的射频动力机器，在更大的区域上更均匀地分配能量，并允许增加蚀刻均匀性。它还包含一个超大的石英腔室，它最大限度地减少了基板和负载锁之间的热传递，并减少了颗粒污染。为便于加载，该工具采用单件工艺加载功能，最多可处理2000个晶圆。多级拓扑控制允许在工具内精确蚀刻和移动晶圆,同时保持均匀性和降低缺陷级别。此外，多个独立的处理模块可用于不同的蚀刻和清洁应用。为确保最大精度和可靠性，LAM RESEARCH STRIP45蚀刻资产配备了多种先进的控制和监控系统。其中包括E室压力监视器、动态模型扫描仪和自动晶圆定向检查器。这些特性使用户可以精确监控和调整自己的蚀刻过程，调整温度、时间、蚀刻化学和功率等变量，以确保达到最佳效果。此外,该设备还集成了LAM RESEARCH ETCHVISION™控制器和软件.这为用户提供了对其蚀刻过程的实时监控,并提供了强大的数据分析和报告功能。总体而言，STRIP45是一个先进的蚀刻系统，能够以最少的努力和精力投入取得优异的成果。通过利用其高度的射频功率和控制，这个单元为用户提供了他们的结果将是可靠和可重复的保证。通过利用先进的控制技术和报告能力，操作员将能够优化其蚀刻过程，以最大限度地提高产量并减少周期