二手 LAM RESEARCH STRIP45 #9284283 待售

LAM RESEARCH STRIP45是一种设计用于各种半导体工艺的快速可靠的蚀刻器/asher。它是一个单一的平台系统，具有先进的模块化技术，可以对精细的设备结构进行极其精确的处理。STRIP45具有多种功能,可实现广泛的应用,例如材料蚀刻、表面清洁、SiO2侧壁蚀刻以及通过金属蚀刻工艺。LAM RESEARCH STRIP45配备了最先进的硬件,以提高工作效率和灵活性。它拥有4英寸i-line/DUV、DUV热板、200毫米a-line/DUV和Uni-crogrammable 50腔室。每个腔室都可以定制各种气流、压力、温度和流量配置。此外，还具有低温、低真空、固态蚀刻能力。STRIP45还附带了提供可定制的流程配方、数据日志记录和警报监控组件的软件。这允许用户为特定的蚀刻或灰化过程开发分步序列。每一步都可以包括气流、压力、温度和流量规格，用于精确处理。基于配方的工艺开发也使得运行试用、优化和生产运行变得容易。LAM RESEARCH STRIP45以8500瓦的声波功率和强大的低温、低真空等离子体源提供卓越的清洁性能。它可以去除轻质有机化合物，同时保持室内0.39 Torr的稳定压力和10至140 °C的温度。STRIP45还具有极好的安全功能,可保护人员和材料免受意外暴露于有害气体的影响,其设计目的是在清洁环境中以最小的噪音运行。这种易于使用、维护程度低的蚀刻器/Asher非常适合许多半导体应用,并通过快速循环时间和提高的刀具效率来节省成本。