二手 LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE #293618056 待售

LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE是一种专门为大批量生产精密基板而设计的蚀刻/粉碎器设备。该系统采用双级联、三级（TC3）沉积装置，能够快速准确地制备基板。TC3机提供各种材料的均匀沉积，如氮化物、二氧化硅、氮化钛、氮化铝。该工具配有一个19"宽乘27"深的主室，所有沉积操作都在室内进行。控制该层蚀刻速率和均匀性的冷却器机柜包含在资产中,最多可容纳12个盒式磁带位置。卡带位置可以通过滚筒选择器进行选择，通过控制过程中使用的气体的流量和体积以及过程的持续时间，可以调整以提供特定的蚀刻速率。位置排列成八角形，以最大化涂层的均匀性。该模型还配备了一个集成的、由计算机控制的运行结束清洁设备，使用氢氟酸和臭氧，确保底物出来清洁和不污染。该系统用途广泛，可用于沉积多种材料，包括氧化硅、氮化硅、氮化铝和钛合金、氧化氮化硅、钨和氮化全新及其他耐火材料。LAM TCP 9400 DSIE可以配置自动进纸器,以精确控制厚度、蚀刻速率和均匀性。该单元还包括一个粒子监控器，用于监测材料的沉积速率，以及偏转组件，这有助于保持基板的机械精度。用户友好的菜单驱动软件也包括在内，为机器提供了方便的设置、操作和维护。该工具在批量制造中效率极高，经济性强，能够生产出可用于许多不同技术的基板，如光电子学、微电子学、生物医学、汽车等。LAM LAM RESEARCH TCP 9400 DSIE具有多种功能,是高批量生产中需要高质量蚀刻和灰烬的用户的理想解决方桉。