二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9158145 待售
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ID: 9158145
晶圆大小: 6"
Etcher, 6"
Chamber assembly: x2 LL, Proc chamber
Monitor type: LCD
Signal tower: (3) Colors
Pres control: Automatic
Chuck type: Mechanical
RF Generator: RFG 1250
Turbo: EDWARDS A2203C
Gasbox channel: (8) Channels
Series 65 pendulum valve
(2) Gas rings with ceramic insert
Quick clean chamber liners
Dynamic offset ESC power supply and minimatch upgrade
Quick clean endpoint windows
EPROM upgrade for the VAT valve (no preset requirements)
EPROM upgrade for the TCP digital match controller (ISI controller)
Quartz edge ring (greater MTBC)
Currently de-installed.
LAM RESEARCH TCP 9400 SE II是一款功能强大的蚀刻器/asher,专为高级和老牌用户而设计。此设备提供卓越的精确度和速度,具有多种高级特性和功能。高性能射频发生器提供快速、可重复的蚀刻。一个易于使用的触摸屏控制面板允许用户以最小的努力编程和监控他们的蚀刻参数。系统中内置的高级算法允许跨多个基板实现前所未有的可重复性,从而确保任何材料上的蚀刻轮廓一致。除了单独运行详细的数据日志记录外,设备还可以记录最后10次运行,从而确保过程的一致性,并提供有关蚀刻过程的宝贵见解。该机器还拥有一个特别设计的安全室，该安全室设计为含有高度危险的蚀刻气体，保护使用者和环境不受暴露。同样令人印象深刻的是其强大的精密计量能力，允许用户分析和监控蚀刻结果，以保证准确性和可重复性。TCP 9400 SE II是一个功能强大的蚀刻器/asher解决方桉,旨在以精确和快速的速度处理甚至最苛刻的蚀刻应用程序。其直观的软件平台、先进的安全功能和可靠的计量功能使其成为既有老牌用户也有抱负的用户的理想解决方桉。无论是蚀刻单个基板还是高度复杂的结构，这种高性能的工具都被设计成每次都能提供一致可靠的蚀刻。
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