二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9212901 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II是专门为广泛的硅和复合半导体应用而设计的基准等离子体蚀刻器。该设备为制造微电子器件，如微感应器、MEMS和光电元件提供了一种通用、高性能的蚀刻解决方桉。它拥有一个17英寸的彩色液晶触摸屏大界面，允许用户通过几次刷卡和水龙头轻松控制所有功能。系统还有一个非常宽的蚀刻窗口（最大12 x 12英寸），允许在一次运行中处理多个晶圆和模具级别。TCP 9400 SE II自带内置电源和热板，在减少粒子产生的同时，允许出色的蚀刻均匀性。它还具有板载惰性群集软件,能够精确控制各种蚀刻化学的蚀刻时间和温度比,包括CF4、SF6、HCl、Cl2和HBr。此外,该单元还具有两个独立的负载锁,可实现高吞吐量系统。此外,该机器还支持单步或多步蚀刻过程,从而实现更精确的设备制造过程。LAM RESEARCH TCP 9400 SE II的安全特性被设计为确保安全的操作环境，包括暴露防护装置、惰性气体安全阀和排气洗涤器。该工具还具有紧急停止和按键开关,以帮助维护安全。在维护方面,TCP 9400 SE II的需求很小,因为该资产配备了内置的自我诊断模型,可以定期检查设备的安全性和性能。所有这些功能都有助于LAM RESEARCH TCP 9400 SE II作为可靠且经济高效的高精度蚀刻系统的声誉。强大的单元设计与集成的软硬件功能相结合,使TCP 9400 SE II成为安全、精确地蚀刻多种材料的理想平台。