二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9364646 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II 蚀刻器/asher是一种通用的湿法加工工具,专为半导体制造中基于等离子体的快速、精确蚀刻、灰化及相关工艺而设计。它利用先进的线性自动化运动系统来实现最大的吞吐量和精度。9400 SE II为基于等离子体的蚀刻和灰化提供了高性能、低成本的解决方桉。9400 SE II适用于半导体器件的前端和后端制造。它具有8英寸多区域基板支撑级，4位静电卡盘，表面安装溅射膜沉积头，在整个工艺表面提供一致的等离子体响应和均匀蚀刻。9400 SE II能够在200毫米晶圆尺寸内以亚微米精度蚀刻高达50 um的金属。该阶段预配置了多种工艺配方，包括气体/流量控制、多区基板温度控制、模式识别/识别算法以及虚拟晶圆映射。此外,9400 SE II还具有先进的数字自动对焦和自动扫描控制软件,可实现更高效、更精确的蚀刻过程。9400 SE II利用高效的气体输送系统,在工艺表面上分配冷的干气,以最大限度地提高蚀刻精度、印版均匀性和设备寿命。它提供精确、快速的蚀刻工艺,并具有最小的溅射损耗.它还能够提供低排放（LE）等离子体，以确保最佳蚀刻性能和尽量减少残留材料污染。LAM RESEARCH 9400 SE II是一款可靠可靠的蚀刻器/灰化器,为蚀刻和灰化应用提供安全可靠的环境。它的模块化设计和远程监控功能使其成为任何应用程序的理想解决方桉。9400 SE II凭借其高处理吞吐量、低成本操作以及卓越的蚀刻/灰化性能,是众多领先半导体制造商的首选蚀刻/灰化器。