二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE II #9402509 待售

LAM RESEARCH TCP 9400 SE II蚀刻设备（又称asher）是一种用于制造半导体器件的高性能、高精度蚀刻系统。TCP 9400 SE II采用专利技术,利用先进的材料和工艺生产出具有卓越统一性、产量、速度和可靠性的产品。该单元采用群集工具设计,以最大限度地提高吞吐量、降低拥有成本,并能够将多个流程模块集成到单个平台中。这些模块包括一个预蚀刻剥离装置、一个热氧化热处理室、一个用于高质量有机膜沉积的光有机气相沉积室、一个带有催化剂沉积的等离子体蚀刻站以及一个在蚀刻前检查底物的高端机器。该工具的集成体系结构和用户友好操作使用户能够快速进入生产阶段。该工具经过专门设计，可产生最小缺陷和最佳均匀性的高质量蚀刻结果。其获得专利的SmartEtchTM软件解决方桉能够对所有类型的材料（包括厚薄膜材料和薄膜材料）进行精确蚀刻,并最大程度地提高产量和可重复性。LAM RESEARCH TCP 9400 SE II的热处理室特别适合蚀刻小芯片、细腻的光学涂层、金属或透明电介质。利用光有机气相沉积（POVD）室，实现了高质量的有机膜沉积，即使在大面积上也能达到最大的均匀性。该工具的创新等离子体蚀刻站能够优化蚀刻和催化剂沉积，既可用于完全加工晶片，也可用于工艺流程实验。此外，还可以整合海关会议厅。TCP 9400 SE II还具有高端robocamera资产,它为在蚀刻前识别和校正基板缺陷提供了卓越的检查能力。总体而言,LAM RESEARCH TCP 9400 SE II蚀刻型号非常适合寻求提供最大产量、均匀性和速度的高级蚀刻设备的用户。凭借其先进的材料、工艺技术和集成的体系结构,此工具能够提供卓越的效果,同时最大限度地减少停机时间并提高盈利能力。