二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758949 待售

LAM TCP 9400 SE是一款由Laser Applications and Materials（LAM）制造的最先进的蚀刻/asher设备。它是一种完全自动化的机器，非常适合各种应用，如蚀刻和灰化。LAM TCP 9400SE是一种具有柔性腔室设计的热气相沉积系统，可以重新配置以适应不同的材料和晶圆尺寸。TCP 9400 SE具有8英寸/200毫米直径的腔室。真空单元将腔室加压至10-9 Torr，以确保一致的高质量工艺。该机使用了具有500个程序存储容量的高级数字软件包。TCP 9400SE提供高达450°C的温度范围,以满足各种蚀刻和灰化工艺的要求。该装置有一个独特的多区热破坏工具，具有真空施加的玻璃罩，允许用户定制热制度。该资产支持各种蚀刻过程，如各向同性、各向异性和定向蚀刻。LAM TCP 9400 SE还提供多种灰化工艺，包括水槽和袋式烧结，以优化材料质量。软件界面允许对蚀刻和灰化过程进行简单的编程和监控。LAM TCP 9400SE还采用了复杂的双气体控制模型,可以精确控制蚀刻和灰化过程。该设备配备了自动关闭功能，以防止污染，以及一个自我诊断系统，以从单位错误中快速恢复。此外,TCP 9400 SE的设计考虑了安全性,并通过了最高安全标准的认证。总体而言,TCP 9400SE是一款功能强大且用途广泛的蚀刻和灰化机,能够满足各种蚀刻和灰化需求。该工具易于配置,并提供强大的硬件和软件功能,以确保一致性和可靠性。LAM TCP 9400 SE是用于研究和生产应用的可靠且经济高效的解决方桉。