二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758954 待售

LAM TCP 9400 SE是一种高级蚀刻器/asher设备,专门设计用于提供可靠、精确的蚀刻和灰化工艺。该系统采用高功率、数控、直接等离子体溅射离子源，对氧化铝、石英、硅和玻璃等基板进行高效、精确的蚀刻和灰化。双模TCP（传输控制协议）提供精确的蚀刻和灰化,具有高度的可重复性和准确性。TCP能够利用低功耗、短点火周期以及高功率、长点火周期,以最大的效率和控制来确保最大吞吐量。该装置还采用先进的灰化工艺，以确保完整的基板灰化和最小的污染。与其他系统相比，它采用双模源控制的快速高温ashing工艺允许在更短的时间内完成全局基板ashing。LAM TCP 9400SE装有体积1.25立方米的大型Ashing Chamber，可达1700 °C的温度。另外，灰化过程由使用者精确控制，可以与广泛的底物，以及纯氧与N2之间不同的大气组成物一起工作。该机器采用直观的彩色触摸屏,便于设置和监视蚀刻和灰化过程。触摸屏受化学和耐磨表面保护，蚀刻和灰化软件非常直观，使工具的操作简单明了。TCP 9400 SE是一种高效、精确的蚀刻器/asher资产。它将高功率、数控、直接等离子体溅射离子源与先进的ashing工艺结合在一起，提供精确的蚀刻和ashing，具有高度的重复性和准确性。直观的彩色触摸屏和易于使用的软件使模型的设置和操作变得容易，化学和耐磨的触摸屏表面保证了耐用性和寿命。TCP 9400SE是需要先进可靠的蚀刻器/灰烬设备的用户的理想选择。