二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758955 待售

LAM TCP 9400 SE是一种为半导体加工而设计的蚀刻/asher装置。它具有耐化学不锈钢涂层，具有极其干净、耐刮擦的性能。LAM TCP 9400SE配备了多个静电屏蔽层，包括一个专利设计，显着降低交叉污染风险。该蚀刻器采用高性能的9400W等离子源，具有广泛的参数调整，以根据应用量身定制蚀刻。此外,TCP 9400 SE还包括一个自动控制面板和功能强大的工艺几何软件,可对蚀刻和气流进行详细控制。TCP 9400SE具有自动压力控制、高压超声清洗、延长维护间隔、动态温度控制等几个功能和安全功能。它还具有ESD安全绝缘结构，防止弧线翻转，并为操作员创造一个安全的工作环境。机载冷却设备即使在重型使用情况下也能保持设备冷却并延长其耐用性。LAM TCP 9400 SE具有集成的电平和云室，带有数字取景器和照明系统以及视频端口。它还集成了广泛的后处理和安全功能，如集成气体监测和灭火装置。蚀刻器/灰化器与多种气体兼容，包括六氟化硫和氯，可用于广泛的精密蚀刻和气体扩散应用。设备的CNC控制机确保准确和可重复的结果，无论工作的复杂性。板载软件可通过Windows和Linux操作工具访问,并具有带触摸屏的全面用户界面。LAM TCP 9400SE还提供了一个数据传输端口,使设备能够直接连接到PC。蚀刻器/asher可用于多种材料，包括铝、钴和硅片。该设备能够进行深度划痕、阵列化和高蚀刻速率优化,使TCP 9400 SE成为各种微加工应用的理想解决方桉。