二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293764327 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款专门设计用于在电子和半导体制造业中进行干蚀刻或湿蚀刻工艺的蚀刻器/asher。它经过精心设计，能够提供出色的几何形状和精确的深度控制，允许精确的蚀刻图桉控制。ONTRAK TCP 9400 SE是一种四室蚀刻/灰烬设备，采用两级干蚀刻工艺，以更高的精度和更低的成本蚀刻图样。第一阶段是低压储层蚀刻，而第二阶段则利用等离子体气体和微波蚀刻到基质中，产生精细、高长宽比的蚀刻。该蚀刻系统能够在不同的基材材料如电介质和金属中进行蚀刻，使其成为一种通用的蚀刻工具。LAM RESEARCH TCP 9400 SE配备了先进的精细音调计量学、多分区能力和多个室内工艺配方。计量单元提供了一种测量蚀刻深度和迭加精度的高度精确可靠的方法。多区功能为大容量应用程序提供了更高的吞吐量,而对室内食谱进行编程则允许定制蚀刻食谱。蚀刻机由集成的基本工艺柜管理和控制，使用户可以轻松设置、监控和调整他们的工艺配方。它还与ONTRAK TSCX软件等前沿软件兼容，使得处理数据、实时监控工具性能和导出结果变得容易。此外，它还可以很容易地与一些第三方计量系统相连接。TCP 9400 SE是适用于小型到大型生产运行的理想蚀刻解决方桉,旨在实现最低限度的维护-其可更换的组件、快速的提升时间和相对较小的占用空间使其成为清洁环境的理想选择。它与OPC-200洁净室气体和晶圆处理系统完全兼容，确保环境条件和工艺可靠性的一致性。总体而言,LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是先进的蚀刻/灰烬资产,非常适合各种电子和半导体制造应用。利用其两阶段干蚀刻工艺和集成的精细螺距计量法,该模型能够在最小的停机时间内实现精密蚀刻,使其成为中大批量生产运行的最佳解决方桉。