二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293767403 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先进的蚀刻/灰化设备，设计用于半导体器件制造环境。它拥有一个完全自动化、自给自足的平台，能够处理各种各样的基材，如硅、氮化物和各种金属。该系统可根据需要定制以处理其他材料。该蚀刻器/asher单元设计有一个可旋转的基板支架，它提供了处理基板的能力，在尺寸达到6.5英寸。这样可以有效地处理和蚀刻基板，同时保持准确和可重复的结果。此外，可旋转基板支架提供了灵活性，以适应各种蚀刻形状和大小，以及先进的蚀刻参数。为了确保最佳蚀刻效果,ONTRAK TCP 9400 SE采用了先进的工艺控制技术。这包括工艺参数监控和自动工艺优化，确保产生最高质量的蚀刻。它还具有防止设备损坏的火花检测机，以及车载视频显示和控制。此蚀刻器/蚀刻器还提供最大的工艺灵活性,提供手动和自动蚀刻速率以及可编程蚀刻序列。此外，工艺气体流量和温度可以调整，以适应个别蚀刻作业的要求。使用包括多个子库的多头气体输送工具控制过程气体。这提供了精确控制所有工艺气体的速率、成分和分布的能力。LAM RESEARCH TCP 9400 SE 蚀刻器/asher还包括一个集成的升降台。这为基材和受污染的废料提供了方便的装卸。此外,集成式安全平台还具有多种安全功能,可确保操作过程中的安全。这包括自动关闭资产,它将在模型故障或电源故障时关闭蚀刻器/asher。总体而言,TCP 9400 SE是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供质量最高的基板,并具有可重复和经济高效的结果。其先进的工艺控制技术、灵活的工艺参数和全面的安全特性使其成为半导体器件制造行业的理想解决方桉。