二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813740 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一种蚀刻器，又称asher，用于半导体制造。ONTRAK TCP 9400 SE，代表"半导体蚀刻的精细平台"，设计用于商业蚀刻生产和研究。它是一个高吞吐量的全自动设备，有四个独立的蚀刻器和11个独立的工艺室。该系统能够一次蚀刻和剥离多达四个晶片，可以同时进行数百次实验。该单元的核心是一个高效的薄膜蚀刻器，可以以每秒3.2Å的最大速率蚀刻硅和介电材料。机器一次处理多层的能力可以显着减少总蚀刻时间。这使得LAM RESEARCH TCP 9400 SE非常适合流程受到严格限制或性能至关重要的应用程序。机器还可以执行光刻带、蚀刻停止、抗剥离、砷掺杂等过程。其蚀刻弹出组件（EEA）旨在确保晶片表面在蚀刻过程后不受污染。欧洲经济区还有助于尽量减少污染的可能性，减少蚀刻深度变化。TCP 9400 SE配备了高度可靠的600mm x 400mm石英管，能够保持高通量，确保晶圆质量一致。它的13条MFC工艺管线提供了对压力、温度和气流的精确控制。气体流量可以从0-50 spm不等，有助于减少化学消耗，更好地管理过程。蚀刻器还具有直观、用户友好的界面,可实现高效、自动化的数据流。它还配备了一套高级诊断功能,如过程监控和泄漏检测,可提供卓越的过程控制。此外,LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE的设计符合行业安全标准,为人员和设备提供高度保护。它还由专家工程师团队提供支持,他们可以在需要时提供帮助和故障排除。总而言之，ONTRAK TCP 9400 SE是一款高效可靠的薄膜蚀刻器，是商业蚀刻的理想选择。其精密的工程设计和直观的用户界面可实现高效、高通量的生产,而其耐用性和高级诊断功能可确保提供一致的晶圆质量。