二手 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813746 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款高级蚀刻器/asher,具有精确的处理参数和出色的可重复性。这种特殊的模型被设计用来处理直径不超过6英寸的基板。蚀刻速率可从0.00调整到30.00mm/min,精确到0.1mm以内。它具有可更换的电源，易于维护和精确温度控制，用于敏感基板的精确处理。该单元可加工各类底物，包括GaAs、Si、聚酰亚胺、多晶金刚石、氮化硅等聚合物。气体溷合物可从0.1 ppm调节到1000 ppm的臭氧、一氧化二氮或氮气。ONTRAK TCP 9400 SE包括一个先进的控制设备,以确保准确和可重复的结果.设有安全联锁装置，防止意外过程放电。系统使用专有算法来确保每个周期的精度和可重复性。该设备可以很容易地集成到生产过程中，以提供可重复和可靠的结果。LAM RESEARCH TCP 9400 SE具有不锈钢腔室,具有长期耐用性。该腔室的设计是为了最佳的温度控制,以达到精确的结果和最大的基板吞吐量.它还具有易于使用的软件，用于编程过程和数据记录。TCP 9400 SE还支持各种气体,包括高端工艺所需的气体。与氮、氯、氧、氢、氙和盐酸相容。该机配有进气真空阀，以确保可重复性和尽量减少工艺变化。它还允许更好的抓地力和性能与精致的表面。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE凭借其精确的温度控制和易于使用的软件，是高端处理的理想蚀刻器/asher。高级工具可确保可重复和可靠的结果,同时提供最大吞吐量。该装置的不锈钢腔室可确保长期使用后最大的耐用性。广泛的气体兼容性允许灵活可靠的应用。凭借强大的性能、精确度和易用性,ONTRAK TCP 9400 SE是生产线或实验室的必备产品。