二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293592159 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种创新的蚀刻器和asher设备,它在单个工具中提供清洁和沉积功能。这个系统的设计使各种基材的加工能够高度精确，包括硅片、玻璃、石英等。TCP 9400配备了扫描仪,能够将各种加工化学品和材料精确地放置在基板上,从而确保了最高质量的蚀刻和沉积操作。该扫描头具有线性和径向扫描运动，使蚀刻和沉积过程能够以极高的精度和速度完成。LAM RESEARCH TCP 9400有一个集成的控制站，可以从计算机工作站或单元控制台访问。该工作站提供了一个全面的用户界面，用于设置和监视机器，以及与其他系统的通信。该工具具有多种安全功能，如气体关闭、紧急出口和紧急停车。TCP 9400配备了先进的等离子体蚀刻资产，能够轻松、精确地蚀刻各种基板。该型号融合了蚀刻和灰化的最新技术，如高速氧等离子体蚀刻、高速氮等离子体蚀刻等。该蚀刻器可用于各种操作，如氧化物去除、反掺杂、深硅蚀刻、角圆和凹槽定义，以及其他工艺。LAM RESEARCH TCP 9400还具有多室asher工艺,专门设计用于优化沉积和灰化工艺。这是通过使用可互换的化学源，以及多缩放能力来实现的。最后,TCP 9400配备了先进的安全功能,即自动安全和监控设备（ASAM）。此功能扫描设备,持续监视过程参数,并在过程中出现任何不安全的情况时向用户发出警报。LAM RESEARCH TCP 9400是一种最先进的蚀刻和灰化器,可快速准确地处理基材。该系统配备了精确控制沉积过程的扫描头、先进的等离子体蚀刻器和多室asher单元。此外，该机具有多种安全特性，确保过程以安全高效的方式运行。