二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293608569 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是使用反应物气体在表面蚀刻或粉刷特征的蚀刻器/粉碎器。该蚀刻/灰化过程在热化学气相沉积室中进行。TCP 9400是一款可靠而健壮的蚀刻器,可帮助创建周期非常短的高质量功能。LAM RESEARCH TCP 9400旨在提供高吞吐量、过程均匀性和精度的组合。TCP 9400具有独特的腔室设计,可在整个工作区域实现高度统一的工艺条件。反应堆还可以处理包括氯气、三氟化硼和三氟化氮在内的多种工艺气体。LAM RESEARCH TCP 9400配备了气体流量控制器，能够精确控制过程中的气体流量。此外，可以调整腔室的内部压力，以优化蚀刻/灰化率。TCP 9400是一款易于使用、经济实惠的设备,可提供卓越的蚀刻/灰度精度和可重复性。它还具有适合各种工件的延伸工作距离。该系统具有集成的真空认证，意味着单个蚀刻既可用于预蚀刻，也可用于后蚀刻。此外，它还具有水冷等离子体源，具有良好的温度控制和工艺稳定性。这样可以提高更复杂结构的精度、速度和准确性。LAM RESEARCH TCP 9400配备了强大的表面分析工具，可以提供有关蚀刻性能的实时反馈。该工具使用光发射光谱（OES）来测量材料的蚀刻深度和轮廓。它还提供对过程参数（如温度、压力和流率）的监控访问。TCP 9400还配备了集成数据采集单元,可用于记录和归档流程数据。最后,LAM RESEARCH TCP 9400是一种高效可靠的蚀刻器/灰化器,具有独特的腔室设计和集成过程分析工具。它提供了出色的蚀刻和灰化性能，更快的周期时间和卓越的精度。其出色的控制机器能够对过程参数和数据采集进行精确调整。