二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293752333 待售

LAM RESEARCH TCP 9400是一种全自动、高度精确的蚀刻和粉刷设备,专为基板清洁和预金属化过程而设计。这个自动化系统为各种基板提供高质量的工艺，包括硅、玻璃和石英。它非常适合整体蚀刻回处理，为金属沉积提供了理想的平台。TCP 9400提供了许多功能,使其能够高效地进行基板蚀刻。它有一个全自动晶圆载体，利用机器人手臂将底物移入和移出碱性清洁工艺模块，而内置控制器则监视和控制整个工艺。机组的可编程压力控制自动调节反应室内的压力，使底物均匀一致抛光。此外,LAM RESEARCH TCP 9400运行完全闭合循环,所有惰性部件都被回收并再循环回蚀刻过程中,以防止浪费。TCP 9400使用两种蚀刻解决方桉,以确保整个晶片表面的蚀刻速率一致。每种溶液都包含不同的摄制器，用于特定的湿法化学蚀刻和化学机械抛光工艺。这确保了基板表面的最佳润湿和起始材料的均匀蚀刻，提供了一致的表面光洁度。此外，它还有一个精密的温度控制机，精密的过程控制微米级精度。该工具还具有用于监控蚀刻过程的内置光学计量资产。它使操作员能够实时观察和监测蚀刻过程的进展以及基板的表面轮廓。蚀刻过程也通过在线流程数据库进行监视和记录,以便用户可以查看流程趋势并收到任何更改的警报。LAM RESEARCH TCP 9400是一种可靠的自动蚀刻和灰化器模型,提供详细的工艺控制、准确的蚀刻速率以及高性能的基板清洁和金属沉积。它兼具特性和性能，是各种基材蚀刻应用的理想选择。