二手 LAM RESEARCH TCP 9400 #293758208 待售
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LAM RESEARCH TCP 9400是一款旨在提供高级蚀刻和灰化性能的蚀刻器/灰化器。这种创新设备非常适合于生产量、高制造吞吐量应用,如平板显示器（FPD）工艺步骤、3D沉积/蚀刻、光刻和MEMS设备制造。TCP 9400自推出以来,由于其灵活性、容量和强大的功能,已成为非常受欢迎的蚀刻器/蚀刻器。LAM RESEARCH TCP 9400是一个精密模式传递、精密气体分布和宽广工艺窗口的集成双室系统。采用专利的先进循环均衡气（AEG）进气技术，在机组内部产生均匀的气体分布。这种精确度在生产具有小线/空间（L/S）模式的高密度FPD应用程序时创造了最佳蚀刻性能。机器宽广的加工窗口可实现低温/高温蚀刻和非常精确的蚀刻速率/轮廓性能。TCP 9400提供高吞吐量性能,最多可容纳50个晶圆/周期。它还提供99个单元的高容量盒式磁带处理,这有助于进一步提高吞吐量。它的高温和直接驱动机制使得晶圆在腔室之间的传输速度更快，这意味着更高的生产率。LAM RESEARCH TCP 9400是高度可配置的,允许客户根据自己的特定需求定制系统。它包括热晶片处理、腔室优化和源材料自动交换等多种自动冷热负载对腔室循环管理选项。它还包括一系列前端配置，如批量装载机、热交换器、高温/低温源材料发送器、晶圆处理机器人控制和晶圆映射软件。该工具还配备了用户友好的饲料可选气体控制器，使操作员能够在无需编程的情况下快速选择所需的工艺气体。气体控制器还兼容多种气体，这意味着操作员可以在不同的过程中轻松切换到不同的气体。总体而言,TCP 9400是一种高级蚀刻器/asher集成资产,专为高容量精度而设计。其优越的气流技术、快速的周转时间和灵活性为用户提供了一个高度可靠和高效的解决方桉。
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